ガラスベースエッチングGLASS BASED ETCHING

アロン社の「超精密ガラスベースエッチング製品」の魅力

成膜から、パターニング・外形加工などの2次・3次加工まで、BCPに配慮された最新鋭の独自生産設備を備え
最高峰のクリーンな生産環境で高精度・高品質な製品をお客さまにお届けします。
開発から試作・量産まで、最適なアレンジでお応えいたします。

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  「固定スリット板」
  ガラス＋クロム薄膜のパターニング

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  「ロータリーエンコーダー用ディスク」
  透過式・反射式・多層膜など

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  「リニアスケール」
  ガラス＋各種金属薄膜のパターニング

ガラスベースエッチングの製造プロセス

①フォトマスク作成

図⾯やデータをもとにフォトマスク（原版）を作成します。

②脱脂・洗浄

材料を準備し、薬液による脱脂・洗浄を行って
表面の不純物や汚れ・油分を除去します。

③スパッタリング

材料にクロムなどの金属をスパッタリングします。

④レジストコーティング

⾦属膜にレジスト（感光材）をコーティングします。

⑤露光

レジストコーティングした材料に原版をセットして
紫外線を照射します。

⑥現像

露光した材料に現像液をスプレーし、不要な部分の
レジストを除去します。

⑦エッチング

現像した材料にエッチング液をスプレーします。
現像でレジストが除去された部分にエッチング液が
あたることにより、その部分の金属膜が溶解されます。

⑧レジスト剥離

エッチング後に不要となったレジストを除去し
製品が完成します。
この後、検査や必要に応じた追加工を⾏い、製品が出荷
されます。