ガラスベースエッチングGLASS BASED ETCHING

アロン社の超精密ガラスベースエッチング

アロン社は 独自の生産設備により
ガラス、セラミック、フィルムなどに膜付けされた各種金属の
パターニング技術で「究極の製品」をお届けします。

アロン社の「超精密ガラスベースエッチング製品」の魅力

ATTRACTIVENESS OF ULTRA-PRECISION GLASS-BASED ETCHING PRODUCTS

成膜から、パターニング・外形加工などの2次・3次加工まで、BCPに配慮された最新鋭の独自生産設備を備え
最高峰のクリーンな生産環境で高精度・高品質な製品をお客さまにお届けします。
開発から試作・量産まで、最適なアレンジでお応えいたします。

  • 固定スリット板

    「固定スリット板」
    ガラス+クロム薄膜のパターニング

  • ロータリーエンコーダー用ディスク

    「ロータリーエンコーダー用ディスク」
    透過式・反射式・多層膜など

  • リニアスケール

    「リニアスケール」
    ガラス+各種金属薄膜のパターニング

フォトエッチングと拡散接合を「もっと」知る。詳しい技術の解説サイトはこちら「株式会社アロン社監修 匠の加工」

ガラスベースエッチングの製造プロセス

MANUFACTURING PROCESS FOR GLASS-BASED ETCHING PRODUCTS

①フォトマスク作成

図⾯やデータをもとにフォトマスク(原版)を作成します。

フォトマスク作成

②脱脂・洗浄

材料を準備し、薬液による脱脂・洗浄を行って
表面の不純物や汚れ・油分を除去します。

脱脂・洗浄

③スパッタリング

材料にクロムなどの金属をスパッタリングします。

スパッタリング

④レジストコーティング

⾦属膜にレジスト(感光材)をコーティングします。

レジストコーティング

⑤露光

レジストコーティングした材料に原版をセットして
紫外線を照射します。

露光

⑥現像

露光した材料に現像液をスプレーし、不要な部分の
レジストを除去します。

現像

⑦エッチング

現像した材料にエッチング液をスプレーします。
現像でレジストが除去された部分にエッチング液が
あたることにより、その部分の金属膜が溶解されます。

エッチング

⑧レジスト剥離

エッチング後に不要となったレジストを除去し
製品が完成します。
この後、検査や必要に応じた追加工を⾏い、製品が出荷
されます。

レジスト剥離

フォトエッチングと拡散接合を「もっと」知る。詳しい技術の解説サイトはこちら「株式会社アロン社監修 匠の加工」

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